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        氩气净化设备
        RZ-YA系列氩气净化设备


        一、关于氩气纯化的方法

        第一种

            直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。

        第二种

            是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求

            第一种方法设备投资小,第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大

        二、技术参数:

          1、处理气量:    5~1500 Nm3/h(可根据用户需要订做非标设备)

          2、原料气要求: 液氩或者较好的管道氩均可使用

          3、工作压力0.2-1.6MPa可调

          4、(氩气净化器)净化效能:纯化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996%要求

        气体

        纯度(%)

        H2(ppm)

        O2(ppm)

        N(ppm)

        CO2(ppm)

        CH4(ppm)

        露点 (H2O)

        精氩

        99.9996

        ≤0.5

        ≤0.5

        ≤0.5

        ≤0.5

        ≤0.5

        1.5

          

        三、设备特点:

           1、净化剂则采用了世界最先进的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,最高纯度可达99.9999%以上;

           2、净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀;

           3、全BA级内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。杜绝了气体流经管路的再次污染,一次安装终身使用,真正做到零泄漏及无故障运行。

           4、双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。

           5、本公司生产的RZ-YA-D系列全自动氩气纯化装置功能说明:

              A、具有全自动功能,使用操作最简单,开、停机只需按两个按钮,不需扭动任何阀门,这些工作都由PLC程序自动进行;这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯,因此纯气质量也更加稳定。

              B、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏,实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示,并随时可以实现各参数的修正,极大的方便工作人员的操作。

              C、可根据用户需要配备在线分析仪,时时在线监测。

        四、应用领域

            该系列氩气纯化装置用于高纯气体充装站、焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气

         

        关键词

           氩气净化机,氩气净化装置,氩气净化设备,氩气净化器,多晶硅氩气纯化设备,单晶硅氩气净化装置,氩气纯化设备,氩气纯化器,氩气纯化装置。


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